마이크로·나노 가공 실험 플랫폼
마이크로·나노급 소재의 연구개발 및 정밀 가공에 집중된 전문 플랫폼으로서, 고급 소재의 국산화 기술 돌파를 핵심 목표로 하며, “실험실 연구개발–산업화 적용”의 경로를 구축합니다.
마이크로·나노 가공 실험 플랫폼
마이크로·나노급 소재의 연구개발 및 정밀 가공에 집중된 전문 플랫폼으로서, 고급 소재의 국산화 기술 돌파를 핵심 목표로 하며, “실험실 연구개발–산업화 적용”의 경로를 구축합니다.


마이크로·나노 가공 실험실
미세·나노 소재의 정밀 가공 기술을 돌파하여 미세 구조의 제어를 실현하며, 특정 응용 환경에 적합한 기능성 소재를 지향적으로 개발함으로써 고급 미세·나노 가공 분야의 기술 공백을 보완합니다.


마이크로·나노 가공 실험실
미세·나노 소재의 정밀 가공 기술을 돌파하여 미세 구조의 제어를 실현하며,
특정 응용 환경에 적합한 기능성 소재를 지향적으로 개발함으로써 고급
미세·나노 가공 분야의 기술 공백을 보완합니다.

ALD 장비
ALD 기술을 활용하여
소재 표면에 0–10nm 두께의 박막을 균일하게 코팅하며,
이차전지 소재, 촉매, 에너지 함유 소재 등 다양한 분야에 적용됩니다.

액체 분말 코팅기
기체화 피복 기술은 액체를 분무화해 재료 표면에 박막을 형성하는 것으로 인산철리튬, 흑연, 열전도재료 등에 응용된다.

플라즈마 변형 장비
실내에 플라즈마 방전을 도입하여 분말을 활성화시킬 수 있고 ald의 효율도 높일 수 있어 재료 활성화, 불순물 코팅 등에 응용할 수 있다

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